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中微公司2024年度營收增長強勁,研發加速推進

2025-05-30 來源:中國電子報、電子信息產業網
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關鍵詞: 中微公司 刻蝕設備 MOCVD設備 研發投入 集成電路

5月27日,中微公司舉辦了2024年度暨2025年第一季度業績說明會,中微公司董事長兼總經理尹志堯在會上表示:“經過20多年的努力,公司已組建了超過千人的研發團隊,并且十分全面。十年前,我們一般需要三到五年開發一個新產品,再花兩年時間進入市場。但現在,只需要大約18個月,最多兩年就能完成新品研發,半年到一年就可以量產并進入市場。”

據了解,中微公司在2024年實現營業收入約90.65億元,較2023年增加約28.02億元,在近四年營業收入年均增長大于40%的基礎上,2024年營業收入同比增長約44.73%。其中,刻蝕設備收入約72.77億元,在最近四年收入年均增長超過50%的基礎上,2024年同比增長約54.72%。

尹志堯表示,2024年中微公司研發總投入達到24.5億元,同比94.3%,占營業收入比例約為27%,高于科創板上市公司平均研發投入占收入比例的10%到15%。

目前,中微公司累計已有超過6000臺等離子和化學薄膜的反應臺,在國內外137條生產線實現量產和大規模重復性銷售。尹志堯指出,公司的CCP(電容耦合等離子體)高能等離子體刻蝕設備和ICP(電感耦合等離子體)低能等離子體刻蝕設備已覆蓋國內95%以上的刻蝕應用需求,并成功在5納米及更先進制程的國際領先產線中實現規模量產。此外,公司為先進存儲器件和邏輯器件開發的六種LPCVD薄膜設備已順利進入市場,2024年收到約4.76億元批量訂單,實現銷售收入約1.56億元。

在泛半導體領域,中微公司的MOCVD(金屬有機化學氣相沉積)設備持續領跑全球市場,占據氮化鎵基LED照明設備80%以上份額,碳化硅功率器件外延設備目前已經進入生產驗證階段,氮化鎵Micro LED藍綠光設備已經被核準并進入生產,氮化鎵功率器件外延設備、砷化鎵紅黃光設備將在今年進入生產。

在研項目方面,尹志堯介紹到,公司根據市場及客戶需求,加大研發力度,在研項目涵蓋六大類,超過二十款新設備的開發,包括新一代CCP高能等離子體刻蝕設備、ICP低能等離子體刻蝕設備、晶圓邊緣刻蝕設備、LPCVD及ALD薄膜設備、硅和鍺硅外延EPI設備、新一代等離子體源的PECVD設備和電子束量檢測設備等。2025年第一季度,公司研發投入同比增長90.53%至6.87億元。

展望未來,尹志堯表示,目前中微公司可以覆蓋30%的集成電路設備。而在今后五到十年內,中微公司將與合作伙伴共同覆蓋60%的集成電路高端設備,包括刻蝕、薄膜及量檢測的全部設備,以及一部分濕法設備,成為平臺式的集團公司,并向著2035年成為全球第一梯隊半導體設備公司的目標而努力。

責任編輯:許子皓





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