眾所周知,在芯片的生產過程中,需要幾十道工序,幾百種設備,缺一不可。

而這些設備基本上都是與芯片工藝相關的,比如光刻機、刻蝕機、薄膜沉積和過程檢測等等都是對應著XXnm工藝的,不是說有了設備,就可以生產任意工藝制程的芯片。

目前國內很多廠商的設備,能夠支撐的工藝大多在28nm及以上工藝,也有些達到了14nm,再往下就極少極少了。

國內第一家進入5nm產線的設備廠商應該是中微半導體,他們家的刻蝕機在2019年的時候就實現(xiàn)了5nm的精度,并且被臺積電使用,用在5nm芯片的制造之中。

事實上,在中微之后,也有第2家國產廠商,早成功打入5nm生產線了,并且在干法去膠設備領域,更是全球第一,這家廠商就是北京屹唐半導體科技股份有限公司(簡稱“屹唐股份”)。

屹唐股份的主營業(yè)務主要有三塊,分別是干法去膠設備、快速熱處理設備和干法刻蝕設備,這些設備都是用于芯片制造的。

先說說干法去膠設備,這個過程是在光刻之后,去除晶圓上光刻膠的設備,目前屹唐股份干法去膠設備可以用于90nm到5nm芯片,并且被三星、臺積電、中芯國際、美光等廠商使用,更重要的是,干法去膠設備,屹唐股份的市值份額全球第一。

再說說快速熱處理設備,這種設備是用于增加光刻膠和基片間的黏附能力的設備。屹唐股份的快速熱處理設備也能夠用于90nm到5nm的芯片,主要客戶同樣有臺積電、三星、SK海力士,中芯國際這些巨頭,從市場份額來看,排名全球第二。

而他的干法刻蝕設備主要可用于65nm到5nm的芯片,主要客戶是三星、長江存儲,從市場份額來看,排名全球第10。

為何屹唐股份能夠這么強,這不得不說一下屹唐的核心子公司MTI(Mattson Technology Inc．)了,它是一家美國半導體設備廠商,成立于1988年,主營就是半導體設備的研發(fā)和生產,后來在2016年被屹唐股份私有化收購了,成為了屹唐的子公司。

而屹唐股份收購了MTI公司后,也把他們的核心高管留了下來,也吃透了他們的技術。而MTI在干法去膠設備、快速熱處理設備和干法刻蝕設備方面都很強,于是順理成章的,屹唐股份也就擁有了這三種設備的全套技術。

后來屹唐股份在2018年建好了中國研發(fā)制造基地后,也將這3種設備實現(xiàn)了本地化的生產和銷售,也就實現(xiàn)了國產設備在這三個領域的大步前進。