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中芯國際紹興重要項(xiàng)目量產(chǎn):月產(chǎn)能突破 7 萬片,良率達(dá) 99%

2021-07-07 來源:中電網(wǎng)
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國內(nèi)最大的晶圓代工廠中芯國際日前又一個重要項(xiàng)目開始量產(chǎn)。據(jù)浙江日報報道稱,位于浙江紹興的中芯紹興成功完成晶圓設(shè)備鏈調(diào)試。8 英寸晶圓月產(chǎn)能增至 7 萬片,良品率達(dá) 99%。

目前半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用范圍最廣的是 8 英寸、12 英寸晶圓。中芯紹興量產(chǎn)成功的 8 英寸晶圓,可用于智能汽車、智能家居家電的芯片制造。

中芯集成電路制造(紹興)有限公司由中芯國際、紹興市政府、盛洋集團(tuán)共同出資設(shè)立。2018 年 5 月 18 日,中芯紹興 8 英寸廠房項(xiàng)目舉行奠基儀式,標(biāo)志著中芯國際微機(jī)電和功率器件產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目正式落地紹興。2020 年 1 月中芯集成電路制造(紹興)有限公司 8 英寸項(xiàng)目正式量產(chǎn),產(chǎn)能爬坡迅速。

中芯紹興布局三大工藝平臺:一是 MEMS 平臺,包括 MEMS 麥克風(fēng)、壓力傳感器、超聲波傳感器、振蕩器、加速度計、陀螺儀;二是 MOSFET 工藝平臺,包括溝槽式 MOSFET、分柵式 MOSFET 以及超結(jié) MOSFET;三是立足場截止型(Field Stop)IGBT 結(jié)構(gòu)。

2020 年是紹興集成電路產(chǎn)業(yè)平臺開啟全面建設(shè)的關(guān)鍵之年。一年多來,平臺聚焦集成電路設(shè)計 — 制造 — 封裝 — 測試 — 設(shè)備及應(yīng)用全產(chǎn)業(yè)鏈,多措并舉為打造以集成電路為核心的高能級現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系厚植根基。2020 年,集成電路產(chǎn)業(yè)總產(chǎn)值突破 300 億元,成為紹興城市綜合經(jīng)濟(jì)實(shí)力提升到全國第 29 位的重要動力。



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