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中船特氣:光刻氣產品獲得日本GIGAPHOTON株式會社公格供應商認證

2025-08-06 來源:愛集微 原創文章
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關鍵詞: 中船特氣 GIGAPHOTON 光刻氣產品 半導體光刻 電子特種氣體

8月5日,中船特氣發布公告稱,公司近日收到日本GIGAPHOTON 株式會社(以下簡稱“GIGAPHOTON”)發來的合格供應商認證證書,公司光刻氣產品(Kr/Ne、Ar/Ne/Xe)通過了GIGAPHOTON的合格供應商認證,證書有效期至2030年7月23日。

日本GIGAPHOTON 株式會社成立于2000年,總部位于日本栃木縣小山市,是半導體光刻領域的核心企業之一,專注于光刻用準分子激光機、深紫外(DUV)光源及極紫外(EUV)光源的開發與制造。該公司憑借獨創的激光技術和光學測量技術,為全球半導體廠商提供高性能光刻光源解決方案。近年來,GIGAPHOTON不僅在包含日本的亞洲市場獲得幾近全數半導體業者的青睞,在歐美市場也實現了快速增長。

中船特氣表示,本次獲得GIGAPHOTON光刻氣產品(Kr/Ne、Ar/Ne/Xe)合格供應商認證,表明公司相關產品在純度、穩定性等核心性能指標上已滿足國際高端半導體制造領域的嚴格要求。該認證是對公司技術研發實力和產品質量控制體系的重要認可。獲得此項認證,有助于公司拓展在高端半導體設備產業鏈中的業務機會,提升在電子特種氣體領域的市場競爭力,對公司拓展光刻氣產品業務具有積極作用。




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