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今年5nm,2026年2nm,EUV光刻機攪局者,終于要量產了

2024-03-05 來源:科技專家
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關鍵詞: 光刻機 芯片 半導體設備

目前在芯片制造領域,光刻工藝是幾乎所有晶圓廠,都采用的工藝,特別是在相對先進一點的制程中,全部是光刻工藝。


而光刻工藝下,光刻機、刻蝕機等必不可少,其中光刻機更是重中之重,因為其門檻高,研發難度,供應鏈復雜,是所有芯片制造設備中,價格最高的設備。


更重要的是,全球僅4家廠商,能生產光刻機,僅ASML這一家廠商,能夠生產用于7nm及以下芯片的EUV光刻機。


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ASML捆綁了上下游,更是坐擁無法EUV光刻專利,可以說任何一家光刻機廠,想制造出EUV光刻機來,都非常困難,ASML已經將所有上下游綁到自己的戰船上了。


所以其它光刻機廠商,這幾年,基本上都是繞開EUV技術,尋找另外的技術來實現EUV光刻機同樣的功能。


其中有幾種技術,大家也非常熟悉了,分別是NIL納米壓印,BLE電子束技術,X射線技術,以及DSA自生長技術。


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這4大技術,均被認為是最有可能,繞開EUV封鎖,實現7nm及以下技術的方向。


其中又在NIL納米壓印技術,進步最為迅速,日本光刻機廠商佳能,幾年前就與SK海力士合作,推出了用于存儲芯片的NIL納米壓印機來,不過都是用于65nm這樣的工藝中。


而去年,佳能發布了最新的納米壓印半導體設備FPA-1200NZ2C,稱其可以用于5nm芯片的制造,不必再使用EUV了。


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而近日,佳能再表態,這款納米壓印機FPA-1200NZ2C,在今年會量產,這種納米壓印機的成本只有EUV的10%左右,耗電量也只有EUV 技術的10%。


同時,采用納米壓印機后,其配套的設備,相比起EUV配套設備的成本,要降低40%。


佳能還表示稱,這款設備后續會持續升級,到2026年時,預計可以用于2nm芯片的制造,徹底繞開EUV光刻機方案。


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當然,由于這款納米壓印機FPA-1200NZ2C還沒徹底量產,所以不知道佳能是在吹牛,還是真的牛。


同時也有業內人士表示,納米壓印技術,良率估計達不到EUV,且產能、效率會遠低于EUV方案,所以其實并不太適配大規模的芯片制造產業,更適用于小批量的芯片生產。


但不可否認的是,如果佳能的這種技術全面量產,對EUV光刻機而言,將會是一個巨大的沖擊,是真正的攪局者。


因為禁令,我們目前肯定是買不到它,但至少也讓我們有了新的方向可以借鑒,或許接下來,我們也不一定要死磕EUV技術,你覺得呢?



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