2024年一開(kāi)始，ASML就發(fā)公告稱，有兩個(gè)許可證被吊銷(xiāo)，分別是NXT:2050i和NXT:2100i光刻系統(tǒng)的許可證，ASML稱，這影響到了少數(shù)中國(guó)客戶。

當(dāng)時(shí)這個(gè)消息發(fā)出來(lái)后，很多人不以為然，稱目前ASML在售的浸潤(rùn)式DUV光刻機(jī)有多款，只是最新的兩款受限而已，還有NXT:2000i、NXT：1980Di等可以賣(mài)。

而這4款光刻機(jī)，其實(shí)分辨率差不多，都能實(shí)現(xiàn)至少7nm，甚至5nm，區(qū)別只是生產(chǎn)效率而已，所以不用太過(guò)于擔(dān)心。

不過(guò)，近日，ASML正式確認(rèn)，不只是NXT:2050i和NXT:2100i，低端浸潤(rùn)式DUV光刻機(jī)，也受到限制了。

ASML表示稱，“個(gè)別中國(guó)先進(jìn)芯片制造晶圓廠將無(wú)法獲得發(fā)運(yùn)NXT:1970i 和 NXT:1980Di 浸沒(méi)式DUV設(shè)備的許可證。”

這個(gè)“個(gè)別晶圓廠”是誰(shuí)，估計(jì)不用我多說(shuō)了吧，被列入美國(guó)“實(shí)體清單”的中國(guó)晶圓廠，大家都心里有數(shù)的。

事實(shí)上，在2023年10月，美國(guó)升級(jí)的禁令中，關(guān)于光刻機(jī)的指標(biāo)，相比上一年，就有了更為嚴(yán)格的規(guī)定。

2022年10月份時(shí)，美國(guó)的具體要求是，光刻機(jī)如果采用193nm波長(zhǎng)的光源，且分辨率小于45nm時(shí)，其光刻機(jī)套刻精度的DCO值小于1.5nm時(shí)， 不準(zhǔn)出口，不在這個(gè)范圍內(nèi)的可以出口。

2023年10月份時(shí)，禁令升級(jí)了，193nm波長(zhǎng)的光泊，且分辨率小于45nm時(shí)，如果其DCO值小于2.4nm時(shí)，就不能出口了，DCO值要求更嚴(yán)了。

而NXT:1970i/NXT:1980Di，采用193nm波長(zhǎng)，分辨率是小于等于38nm， DCO值為1.6nm，所以其DCO值是大于1.5nm，又小于2.4nm的。

在2022年10月份的禁令之下，能夠出口。但在2023年10月份的禁令之下，就無(wú)法出口了。

這也是為何ASML這次說(shuō)明，對(duì)個(gè)別中國(guó)晶圓廠，無(wú)法出口NXT:1970i 和 NXT:1980i的原因。

按照這個(gè)政策的話，如果ASML不針對(duì)中國(guó)市場(chǎng)，對(duì)光刻機(jī)進(jìn)行調(diào)整的話，那么這個(gè)“個(gè)別的的中國(guó)晶圓廠”，只能從ASML購(gòu)得2013年首次出貨的NXT:1965Ci型號(hào)光刻系統(tǒng)了。

不過(guò)，大家也不必太過(guò)于擔(dān)心，2023年，中國(guó)企業(yè)從ASML采購(gòu)了500億元的光刻機(jī)，足夠使用好幾年，就算暫時(shí)買(mǎi)不到，至少最近幾年內(nèi)也不會(huì)缺少浸潤(rùn)式DUV光刻機(jī)，真正的困難是在幾年之后，就看國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)，到時(shí)候能不能頂上來(lái)了。