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國產光刻機,究竟發展到哪一步了?90nm,還是7nm?

2023-11-27 來源:科技專家
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關鍵詞: 芯片 光刻機 硅片

眾所周知,在芯片制造過程中,光刻機是最重要,也是成本最高的設備之一,同時光刻工藝也是最復雜,難度最大,耗時最長的工藝。


同時,國產光刻機相對于國際領先水平而言,確實也落后很多,于是很多人一直心中有疑問,那就是國產光刻機,究竟發展到哪一步了?今天就和大家談談這個問題。



我們通常所說的光刻機,其實有兩種。


一種是前道光刻機,用于芯片制造的光刻機,采用曝光工藝,將芯片設計電路圖,投射到硅片上。


還有一種是后道光刻機,用于芯片制造完成后的封裝用光刻機。


我們先不說前道光刻機,先說說后道光刻機,讓大家高興一下。



在后道光刻機這地塊,其實國內技術并不差,上海微電子在后道光刻機領域,拿下了全球37%的市場份額,在國內更是拿下了85%的份額,比ASML厲害多了。


全球的封測企業,很多都從上海微電子這里采購后道光刻機,用于芯片封裝。


當然后道光刻機,門檻沒有前道光刻機那么高,難度也小一些,所以我們能夠有這么厲害。



再說前道光刻機,這一塊就是ASML的天下了,ASML一家就占了全球80%以上的份額。


而前道光刻機又分為i線、G線、KrF、ArF、ArFi、EUV這么幾種,其中ArF是普通干式光刻機,最高工藝支持到65nm,ArFi則是浸潤式光刻機,最高支持工藝是7nm。


EUV是極紫外線光刻機,用于7nm工藝以下。


目前全球只有ASML能夠制造EUV光刻機。ArFi光刻機,全球只有ASML和尼康能夠制造。



如上圖所示,可以明顯看到在前道光刻機這一塊,4家主流玩家的工藝水平。


ASML處于王者地位,技術最牛,尼康差一些,達到了高端的水準,也就是ArFi。而上海微電子和佳能一樣,處于低端領域,還在90nm工藝階段。


當然,也有網友表示,國內水平不只是90nm,只是還沒有公開而已,那這個就見仁見智了,沒公開的我們就沒法去說了,只能用公開的數據來分析。



由此可見,整個光刻機領域,后道光刻機,我們已經處于領先水平,主要需要突破的是前道光刻機,目前掌握的是ArF技術,下一步是要突破ArFi技術,也就是浸潤式技術。


至于什么時候突破,就得看上海微電子的了,期待早突破吧,目前雖然在90nm,但只要一步,突破了ArFi,就能達到7nm,那么美國的封鎖,直接就失敗了。



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