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中國(guó)最牛后道光刻機(jī)廠:拿下國(guó)內(nèi)85%份額,ASML都不是對(duì)手

2023-11-20 來(lái)源:科技專(zhuān)家
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關(guān)鍵詞: ASML 芯片

估計(jì)很多人僅看了標(biāo)題,就不會(huì)去看內(nèi)容,然后就直接開(kāi)始吐槽,為何我們就不能腳踏實(shí)地,這么喜歡吹牛呢?中國(guó)的光刻機(jī)有這么牛,何至于是現(xiàn)在這樣?那美國(guó)怎么會(huì)限制光刻機(jī)的進(jìn)口?


但我要說(shuō)的是,你根本沒(méi)看清標(biāo)題,只是看到光刻機(jī)二字,就覺(jué)得不可能了。我標(biāo)題中寫(xiě)的是后道光刻機(jī)。



芯片制造過(guò)程,分為前道和后道。


前道是將硅晶圓通過(guò)光刻要、刻蝕等工藝,變成加工后的硅晶圓,這個(gè)過(guò)程是前道工序,這里需要的光刻機(jī)叫做前道光刻機(jī)。


而前道光刻機(jī),確實(shí)種類(lèi)繁多,有i線、G線、KrF、ArF、ArFi、EUV等,這些種類(lèi)都與工藝相關(guān),比如ArF可以達(dá)到65nm,ArFi可以達(dá)到7nm,而EUV用于7nm以下。


這一塊,ASML稱(chēng)王,一家拿下全球85%左右份額,而國(guó)內(nèi)的水平確實(shí)差很多,上海微電子的光刻機(jī),水平僅在90nm,市場(chǎng)也可以忽略。




但我說(shuō)的是后道光刻機(jī),后道是指將加工好后的硅晶圓,進(jìn)行一片一片切割成Die,然后再將這些裸芯片,封裝測(cè)試,最后形成一顆顆可以用于設(shè)備中的芯片過(guò)程。


在后道工序中,也需要光刻機(jī),叫做后道光刻機(jī),也可以稱(chēng)之為封裝光刻機(jī)。


而在這一塊,上海微電子就很厲害了,目前在全球市場(chǎng),上海微電子拿下了37%的份額,而在國(guó)內(nèi),更是拿下了85%的份額,連ASML在國(guó)內(nèi)都不是上海微電子的對(duì)手。



當(dāng)然,與前道光刻機(jī)相比,后道光刻機(jī)確實(shí)簡(jiǎn)單一些,沒(méi)那么復(fù)雜,但也是芯片制造過(guò)程中,不可或缺的一種設(shè)備。


所以,對(duì)于上海微電子,我們也應(yīng)該佩服,雖然它在前道光刻機(jī)上不給力,但在后道光刻機(jī)上還是達(dá)到了全球最頂級(jí)的水平,也讓我們減少了對(duì)國(guó)外設(shè)備的依賴(lài)。


目前上海微電子在前道光刻機(jī)上也在努力,說(shuō)不定哪天突破到浸潤(rùn)式,也就是ArFi光刻機(jī),那就很厲害了。



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