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美國(guó)禁售ArFi光刻機(jī),堵住7nm芯片漏洞,麒麟9000S難產(chǎn)了?

2023-10-20 來(lái)源:科技專家
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關(guān)鍵詞: 芯片 光刻機(jī) 華為

近日,美國(guó)再次升級(jí)了芯片禁令,在去年那份“史上最嚴(yán)”的禁令上,再次升級(jí),重新制造了很多的細(xì)則。


其中針對(duì)AI芯片,一些消費(fèi)級(jí)的GPU顯卡,以及nvidia去年根據(jù)禁令,針對(duì)中國(guó)大陸市場(chǎng),特意進(jìn)行閹割,并符合去年禁令要求的H800、A800都被禁了。



另外,針對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備,重新又提了要求,特別是光刻機(jī)方面,針對(duì)波長(zhǎng)193nm、分辨率小于45nm的DUV設(shè)備,只要套刻精度的DCO值,小于等于2.4nm即不能銷售,需要許可證。


目前ASML在售的所有浸潤(rùn)式光刻機(jī),包括最老的那一款NXT:1980Di,其波長(zhǎng)是193nm,分辨率是38nm,然后DCO值是1.6,所以去年的禁令能夠銷售,今年的禁令下,無(wú)法銷售了。



美國(guó)為何會(huì)特意針對(duì)這款光刻機(jī)?其實(shí)并不是特意針對(duì)它,針的是所有浸潤(rùn)式光刻機(jī),因?yàn)槟壳叭蛟谑鄣乃薪?rùn)式光刻機(jī),其DCO值都是小于2.4的,那么就全部不能銷售。


為何要針對(duì)浸潤(rùn)式光刻機(jī)呢?原因很簡(jiǎn)單,那就是堵住之前的7nm芯片漏洞。


浸潤(rùn)式光刻機(jī),雖然采用193nm的深紫外線,但通過(guò)水的折射之后,等效于134nm,經(jīng)過(guò)多重曝光技術(shù),最多可以生產(chǎn)出7nm的芯片。



前段時(shí)間,讓大家沸騰的那顆Kirin9000S,其實(shí)就是采用浸潤(rùn)式光刻機(jī),進(jìn)行多重曝光的產(chǎn)物。


去年美國(guó)就想將中國(guó)芯片制造水平,鎖定在14nm工藝,所以出臺(tái)了那么嚴(yán)格的禁令,不曾想在光刻機(jī)這里,還有一個(gè)漏洞,讓ASML的NXT:1980Di這樣的光刻機(jī),能夠銷售。


而這臺(tái)光刻機(jī),通過(guò)多重曝光技術(shù),確實(shí)可以生產(chǎn)出7nm芯片,臺(tái)積電第一代N7工藝,就是基于這臺(tái)光刻機(jī)的。



而前段時(shí)間的Kirin9000S,雖然不知道是誰(shuí)代工的,也不知道究竟是什么工藝。但對(duì)美國(guó)而言,這樣的情況是不愿意看到的,所以不管是誰(shuí)代工的,直接將這條路堵了再說(shuō)。


在美國(guó)看來(lái),管你誰(shuí)代工的,只要將這個(gè)漏洞堵住了,浸潤(rùn)式光刻機(jī)買不到,那么7nm芯片就生產(chǎn)不出來(lái)了,Kirin9000S也就不會(huì)有了,那就行了。


接下來(lái)怎么辦?短時(shí)間之內(nèi)肯定沒(méi)什么影響,畢竟目前國(guó)內(nèi)還擁有很多的浸潤(rùn)式光刻機(jī),還能繼續(xù)用,7nm芯片也沒(méi)問(wèn)題,但接下來(lái)可能買不到了,未來(lái)影響還是很大的,我們只有自己突破才行。



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