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9月1日起,浸潤(rùn)式光刻機(jī)受限?ASML:今年內(nèi)中國(guó)客戶隨便買

2023-09-05 來源:互聯(lián)網(wǎng)亂侃秀
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關(guān)鍵詞: 半導(dǎo)體 光刻機(jī) 中芯國(guó)際

眾所周知,荷蘭之前公布了一個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備的禁令,表示NXT:2000i光刻機(jī),以及更先進(jìn)的光刻機(jī),是不能賣給中國(guó)的,除非拿到許可證。而這個(gè)禁令將于9月1日?qǐng)?zhí)行。


所以從9月1日起,很多人就表示,接下來國(guó)內(nèi)的晶圓廠可能有點(diǎn)難受了,因?yàn)橹荒苜I到NXT:1980Di這一款浸潤(rùn)式光刻機(jī)了,比它更先進(jìn)的都不能買,包括EUV。



不過針對(duì)這一情況,ASML直接進(jìn)行了否認(rèn),表示2023年內(nèi),所有的DUV光刻機(jī),包括NXT:2000i以及更先進(jìn)的NXT:2050i、NXT:2100i,都能夠賣給中國(guó)。


而為什么ASML能夠無視禁令呢?ASML表示,之前ASML就向荷蘭政府申請(qǐng)了許可證,而這個(gè)許可證的有效期是覆蓋2023年內(nèi)的,但是從2024年1月1日開始,就失效了,到時(shí)候ASML就不能將NXT:2000i及更先進(jìn)的光刻機(jī)賣給中國(guó)了。



那么這對(duì)中國(guó)的晶圓廠,有多少影響么?


說真的,其實(shí)影響不大,目前ASML在售的四款浸潤(rùn)式光刻機(jī),分別是NXT:1980Di、NXT:2000i、NXT:2050i、NXT:2100i,數(shù)字型號(hào)越大機(jī)器越先進(jìn)。


但從參數(shù)來看,不管是NXT:2000i,還是NXT:1980Di,或者更高級(jí)的NXT:2050i、NXT:2100i,他們的分辨率都是38nm,數(shù)據(jù)值孔徑都是1.35NA,波長(zhǎng)都是193nm,經(jīng)過水的折射后,等效于134nm。


所以理論上,大家能夠制造的芯片工藝是一致的,只是晶圓處理速度不一樣,這個(gè)影響的是產(chǎn)能,但工藝影響不大。


同時(shí)浸潤(rùn)式光刻機(jī),最高是能夠制造7nm工藝的芯片,不管是相對(duì)落后一點(diǎn)的NXT:1980Di,還是最先進(jìn)的NXT:2100i,最高也都只是達(dá)到7nm,也都能達(dá)到7nm工藝。


所以中國(guó)晶圓廠,不管怎么買,都可以最高實(shí)現(xiàn)7nm,同時(shí)也無法進(jìn)入5nm的,因?yàn)?nm是需要EUV工藝,這是繞不開的。



更重要的是,既然還有這么多時(shí)間,ASML說可以銷售,那么國(guó)內(nèi)有需求的廠商也會(huì)想辦法囤一些最先進(jìn)的DUV光刻機(jī),以保證接下來一段時(shí)間之內(nèi)的使用。


所以對(duì)于這個(gè)禁令,大家真的不必太過于擔(dān)心,除非說所有浸潤(rùn)式都不能銷售,只能賣Dry,也就是干式光刻機(jī),那樣影響就真的大了。



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