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國產(chǎn)芯片制造工藝,或要繞過EUV光刻機(jī)了,已有重大進(jìn)展

2023-08-11 來源:只談數(shù)碼科技
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關(guān)鍵詞: 芯片 中芯國際 光刻機(jī)

眾所周知,目前硅基芯片的制造,離不開光刻工藝。


而光刻工藝,則離不開光刻機(jī),而全球目前僅4家半導(dǎo)體芯片制造的光刻機(jī)廠商,分別是ASML、尼康、佳能、上海微電子。


其中ASML最牛,擁有EUV光刻機(jī)、浸潤式光刻機(jī)、干式光刻機(jī)等各種高、中低端光刻機(jī),份額高達(dá)80%+。



尼康第二牛,擁有除EUV光刻機(jī)之外的其它光刻機(jī),最高水平是浸潤式光刻機(jī)。佳能排第三,不過最高水平是干式光刻機(jī)。而上海微電子實(shí)際也能生產(chǎn)干式光刻機(jī),但分辨率只有90nm,相對最差。


干式光刻機(jī)最高只能支持65nm芯片,浸潤式光刻機(jī)最高能達(dá)到7nm工藝,而7nm工藝之后則需要EUV光刻機(jī)。



所以目前,國內(nèi)的光刻機(jī),基本上都是從ASML、尼康、佳能進(jìn)口,畢竟上海微電子的光刻機(jī),確實(shí)差那么一丟丟,從上面的市場份額圖也可以看到,國產(chǎn)光刻機(jī)的份額沒列出來,因為基本接近于0,沒有列的必要。


在這樣的情況之下,光刻機(jī)已經(jīng)嚴(yán)重拖了國產(chǎn)芯片產(chǎn)業(yè)的后腿,也導(dǎo)致目前美國拿光刻機(jī)卡著國內(nèi)的芯片產(chǎn)業(yè)。


比如EUV不賣到中國來,而浸潤式光刻機(jī)也受限, ASML的浸潤式光刻機(jī)中,先進(jìn)的兩款不賣,只有一款落后的可以賣。而尼康的光刻機(jī),同樣的先進(jìn)的不賣。



也在這樣的情況之下,大家都認(rèn)為,國產(chǎn)光刻機(jī)必須突破,要早點(diǎn)開發(fā)出EUV光刻機(jī)出來才行,才能夠真正打破壟斷,讓禁令成為廢紙。


不過,從目前的情況來看,國產(chǎn)芯片制造,要繞過EUV的可能性更高,為什么呢?因為有了一項新技術(shù),那就是NIL納米壓印。


EUV光刻機(jī)是非常難的,ASML已經(jīng)將產(chǎn)業(yè)鏈捆綁在一起了,其它廠商很難避開EUV產(chǎn)業(yè)鏈,生產(chǎn)出EUV光刻機(jī)出來。



但NIL納米壓印技術(shù)不同,沒有被誰捆綁住,同時門檻相對較低,更重要的是NIL壓印技術(shù),目前佳能已經(jīng)進(jìn)度良好,佳能表示到2025年時實(shí)現(xiàn)5nm工藝。


而國內(nèi)也有公司,目前雖然沒有達(dá)到佳能的水準(zhǔn),但表現(xiàn)也不錯,比如天仁微納的納米壓印設(shè)備,已經(jīng)可以在150/300mm基底面積上實(shí)現(xiàn)高精度(優(yōu)于10nm )了。


可見,納米壓印技術(shù),在國內(nèi)很可能比EUV光刻機(jī)發(fā)展的更快,也許當(dāng)國產(chǎn)EUV光刻機(jī)還沒影時,NIL納米壓印技術(shù),就進(jìn)入5nm了。


所以正如我標(biāo)題所言,國產(chǎn)芯片制造工藝,或要繞過EUV光刻機(jī)了,不信,大家等著瞧,畢竟佳能也是這么想的。



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