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與ASML相比,國產光刻機,究竟達到了什么水平?

2023-06-21 來源:只談數碼科技
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關鍵詞: 光刻機 芯片 中芯國際

眾所周知,在芯片的制造過程中,光刻機是最重要且必不可少的一種設備,從成本來看,光刻機占所有芯片制造設備的22%左右。


成本高,占比重還在其次,最重要的是,全球能夠制造光刻機的廠商并不多,也就那么幾家,而用于10nm以下工藝的EUV光刻機,全球只有ASML一家能造。




這問題就嚴重了,意味著所有想生產10nm以下芯片的廠商,必須找ASML買光刻機,買不到的話,在當前的技術條件下,就無法進入到10nm,這才是問題的根本。


因為大家都懂的原因,我們是找ASML買不到EUV光刻機的,所以大家都明白,國產光刻機必須崛起,否則中國芯片產業無法崛起。




那么問題就來了,目前國內的光刻機水平,究竟什么樣了,與ASML相比,究竟差距有多大?


先說說全球的光刻機格局,目前全球光刻機市場基本都由荷蘭ASML、日本尼康和佳能公司完全壟斷,而國內的上海微電子產的光刻機,市場占有率基本可以忽略,特別是在芯片制造光刻機這一塊,更多用于封測、光刻膠生產等領域。


2022年全球前道光刻機,一共出貨量約為551臺,其中ASML一共出貨了345臺,占比為63%;而佳能出貨量為176臺,占比為32%。尼康僅出貨30臺,占比約為5%。


而中國廠商上海微電子,沒有統計在內,也就意味著遠低于尼康,我們甚至基本可以認為是0。




而7nm及以下的EUV光刻機,只有ASML能生產。尼康的水平是生產浸入式光刻機,標稱精度是28nm,經多重曝光,一般也只用于14nm。


而佳能生產的光刻機,標稱精度是90nm,經多重曝光,最多也只用到65nm左右,這就是這三大光刻機廠商的情況。


而國內最牛的是上海微電子,已公開量產的光刻機標稱精度是90nm,經多重曝光,最多也只用到65nm,與佳能一致,但多重曝光還會導致良率顯著降低,導致成本飆升。




但之前有媒體報道稱,上海微電子已經在生產28nm的光刻機,多重曝光光后生產7nm芯片,預計在2021-2022年交付,但沒具體的報道,所以不能亂說。


所以當前國內明面上的光刻機水平就是90nm,就算多重曝光,最多也就是65nm,考慮到ASML的DUV光刻機是不受限的, 估計沒誰買90nm的,來生產65nm的光刻機。所以,差距真的是非常非常大。


事實上,EUV光刻機一共有10多萬個零件,而ASML有5000多供應商,可見要生產一臺EUV光刻機,真的不容易,但再難,這個關我們也必須沖過去。



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