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DUV光刻機(jī),ASML也不賣中國(guó),我們還能造幾納米芯片?

2023-03-13 來源:只談數(shù)碼科技
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關(guān)鍵詞: 光刻機(jī) 芯片 半導(dǎo)體設(shè)備

近日,全球最牛的光刻機(jī)廠商ASML通過官網(wǎng)發(fā)布了關(guān)于光刻機(jī)管制的一些細(xì)節(jié)。

其中ASML明確指出,TWINSCAN NXT:2000i及之后的浸沒式光刻系統(tǒng),已經(jīng)不能出口到中國(guó)了,而TWINSCAN NXT:2000i之前的光刻機(jī)不受影響。

這意味著除了EUV光刻機(jī)外,以前不受限的DUV光刻機(jī),也受到限制了。

浸潤(rùn)式光刻機(jī)是什么光刻機(jī)?還是采用193nm光源的光刻機(jī),但浸潤(rùn)式的光刻機(jī),在硅晶圓上,會(huì)加一層水作為介質(zhì),而193nm的光源,經(jīng)過水之后,會(huì)進(jìn)和地折射,然后就等效于134nm的光源,這樣精度更高。

所以這種浸潤(rùn)式光刻機(jī),可以被用于45-7nm先進(jìn)制程芯片的制造,當(dāng)然主要還是用于14-45nm工藝,在7nm工藝時(shí),更多還是用EUV光刻機(jī)。

目前ASML浸潤(rùn)式的光刻機(jī)主要有三種型號(hào),分別是TWINSCAN NXT:2050i、TWINSCAN NXT:2000i 和TWINSCAN NXT:1980Di。

前面兩種是先進(jìn)的,買不到了,中國(guó)還能買到的浸潤(rùn)式光刻機(jī),只有TWINSCAN NXT:1980Di,這也應(yīng)該是接下來很長(zhǎng)一段時(shí)間內(nèi),中國(guó)能夠買的最先進(jìn)的光刻機(jī)了。

那么問題來了,買了這一臺(tái)光刻機(jī)后,我們能夠用它來制造幾納米的芯片?

據(jù)官網(wǎng)的數(shù)據(jù),TWINSCAN NXT:1980Di的分辨率是大于等于38nm,數(shù)值孔徑是1.35NA,每小時(shí)可以生產(chǎn)275片晶圓。

那么是不是意味著它能生產(chǎn)的芯片最高是38nm?并不是的,事實(shí)上通過多重曝光,依然可以支持到7nm左右。只不過,這樣步驟更為復(fù)雜,良率可能會(huì)很低,導(dǎo)致成本過高,一般的晶圓廠不會(huì)這么干。

目前這臺(tái)浸潤(rùn)式光刻機(jī),普遍用于14nm及以上的芯片制造,很少用于14nm以下的芯片制造,但逼到極限了,也是能使用在14nm以下的。

另外,既然只能買到這樣的光刻機(jī),那么我們能不能不買這個(gè),就用國(guó)產(chǎn)的算了?

那肯定也是不行的,目前國(guó)產(chǎn)的光刻機(jī),最先進(jìn)的是上海微電子的SSA600/20,其分辨率是90nm,較TWINSCAN NXT:1980Di的38nm,還相差很遠(yuǎn)。

這臺(tái)SSA600/20據(jù)稱最多只能達(dá)到45nm制程,所以還是需要進(jìn)口ASML的TWINSCAN NXT:1980Di。

只是目前形勢(shì)已經(jīng)非常嚴(yán)峻了,畢竟DUV也開始被限了,要是接下來連TWINSCAN NXT:1980Di也不賣了,只能買到干式光刻機(jī),那問題就真的嚴(yán)重了,連成熟工藝都會(huì)受影響了,所以國(guó)產(chǎn)光刻機(jī),真的要加油,否則后果真的會(huì)非常嚴(yán)重。



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