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為什么全球只有ASML能制造EUV光刻機?因為它把別人的路堵了

2023-02-27 來源: 只談數碼科技
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關鍵詞: 光刻機 中芯國際 臺積電

眾所周知,目前全球只有ASML一家能夠制造EUV光刻機,像尼康、佳能等巨頭,還停留在DUV光刻機上。

更有意思的是,尼康、佳能現在基本上不再研究EUV光刻機,像佳能開始轉方向,轉向NIL納米壓印技術上去了,想要換條道。

此外,其它對光刻機有野心的廠商,基本上也沒怎么去研發EUV光刻機,轉向去研究BEL電子束技術、X射線光線、DSA自組裝等技術去了。

那么這是為什么呢?大家都不和ASML一樣,從DUV到EUV光刻機,按照這樣的成功的方向走呢?其實原因非常簡單,那就是ASML在研發出EUV光刻機后,其實已經將這條路堵上了,其它人要打通這條路,基本上無望。

一臺EUV光刻機,按照ASML的說法,至少有超過45萬個零件,其中15%是ASML自研的,另外的85%是采購的,ASML是融合全球的供應鏈,然后再組裝出來。

EUV光刻機中,最核心的是光源、物鏡系統、工作臺。其中光源部分,ASML收購了美國企業Cymer,再與德國TRUMPF公司,自己研發出來的。除了這三大廠商外,目前全球沒有一家廠商,能夠搞定這套光源系統。

而物鏡系統就更難了,全球只有蔡司有這種光學技術,而蔡司與ASML捆綁,只對ASML供貨,因為這項技術是雙方共研的。

所以如果其它廠商,要造出EUV光刻機,就要找到可以媲美蔡司的光學廠商,還要找到能夠制造紫外線光源的廠商,這兩項都是難上加難,可以說基本上沒什么希望。

而EUV光刻機市場,并不是那么大,因為它已經不是簡單的幾個企業就能玩的轉的,需要一整個利益鏈條,已經不是“商業邏輯”可以覆蓋的。

可以說,整個EUV光刻機體系,也基本只能供得起一家ASML,而ASML不僅將下游客戶捆綁上了,還已經把全球能夠制造出來核心零件的廠商,與自己捆綁上了,聰明的搞“客戶聯合方案”,把其它廠商研發EUV的路就堵住了。


所以就算其它光刻要廠商,有這個想法,也能能換條道,換成NIL技術、DSA技術,或BEL電子束技術,不去碰EUV技術,因為EUV這條路,碰不得,走不通。

國內的EUV光刻機這條路,我認為短時間內這條路也是走不通的,特別是國內在光學這一塊本來就落后歐洲、日本太多,所以換條道可能更好,你認為呢?



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