美國為了限制中國芯片產(chǎn)業(yè)的發(fā)展可謂無所不用其極，此前眼看僅是聯(lián)合荷蘭無法阻止中國芯片產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，近日又拉攏了日本，然而近日中國一家機(jī)構(gòu)卻突然宣布了一項(xiàng)重大技術(shù)突破，意味著國產(chǎn)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈又打通了一個(gè)環(huán)節(jié)。

之前美國要求ASML不要對(duì)中國出售EUV光刻機(jī)，ASML照做了，由此導(dǎo)致中芯國際支付了超過1億美元的EUV光刻機(jī)至今未能到貨；2022年下半年美國更進(jìn)一步要求ASML不要對(duì)中國出售14納米以下的DUV光刻機(jī)，試圖借此進(jìn)一步扼殺中國芯片。

然而中國隨后與日本合作，采購日本尼康的光刻機(jī)，2022年中國一家芯片企業(yè)招標(biāo)27臺(tái)光刻機(jī)，其中21臺(tái)就給了日本光刻機(jī)企業(yè)，6臺(tái)則給了國內(nèi)的光刻機(jī)企業(yè)；同時(shí)中國也大舉從日本進(jìn)口二手光刻機(jī)，滿足了國內(nèi)成熟工藝產(chǎn)能擴(kuò)張的要求。

有見及此，美國這次拉攏了日本，日本和荷蘭的光刻機(jī)企業(yè)幾乎壟斷了全球光刻機(jī)市場(chǎng)，由此中國連用于成熟工藝的DUV光刻機(jī)都難以獲得了，似乎美國的圖謀可望再次得逞，然而近期哈工大卻突然宣布光刻機(jī)的一項(xiàng)重要技術(shù)取得了突破。

哈工大宣布研發(fā)成功的技術(shù)名為“高速超精密激光干涉儀”，這項(xiàng)技術(shù)是14納米光刻機(jī)的重要技術(shù)，可以確保掩膜工作臺(tái)、雙工作臺(tái)和物鏡系統(tǒng)之間復(fù)雜的相對(duì)位置，實(shí)現(xiàn)光刻機(jī)的整體套刻精度，解決了光刻機(jī)的一項(xiàng)重要技術(shù)難題，這項(xiàng)技術(shù)還獲得了世界光子大會(huì)“金燧獎(jiǎng)”的金獎(jiǎng)，證明了技術(shù)的含金量。

光刻機(jī)本身就是一個(gè)很長的產(chǎn)業(yè)鏈，據(jù)悉ASML的EUV光刻機(jī)就包括10萬個(gè)零部件，需要全球5000家企業(yè)合作，由此可以證明光刻機(jī)的技術(shù)研發(fā)難度，正是由于光刻機(jī)的技術(shù)難度極大，打通產(chǎn)業(yè)鏈就需要較長時(shí)間。

此前的消息指出中國在雙工作臺(tái)、物鏡系統(tǒng)、激光光源等方面都已取得了進(jìn)展，如今再有高速超精密激光干涉儀的技術(shù)突破，代表中國正進(jìn)一步加快光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈的技術(shù)成績，中國也成為全球唯一一個(gè)擁有完善光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈的經(jīng)濟(jì)體。

正是眼見著中國的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈一步步打通，光刻機(jī)巨頭ASML從之前說即使給中國圖紙，中國也無法生產(chǎn)出先進(jìn)光刻機(jī)，如今則改了口風(fēng)，認(rèn)為再給中國3－5年時(shí)間，中國就能生產(chǎn)出先進(jìn)光刻機(jī)。

這幾年美國的做法逼出了中國芯片行業(yè)的潛力，中國芯片屢屢打破空白，在存儲(chǔ)芯片、射頻芯片、GPU芯片方面都取得了突破，經(jīng)過這幾年的努力在光刻機(jī)關(guān)鍵技術(shù)上也陸續(xù)取得進(jìn)展可謂順理成章，面對(duì)中國光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈的進(jìn)展，ASML已表現(xiàn)出擔(dān)憂的態(tài)度，ASML高管喊話美國指繼續(xù)限制對(duì)中國供應(yīng)光刻機(jī)將會(huì)加速中國芯片產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展，可以說是對(duì)美國提出了警告。

連美國富豪比爾蓋茨也認(rèn)為美國的做法只會(huì)讓美國芯片蒙受巨大的損失，擋不住中國芯片前進(jìn)的腳步，如今美國多家芯片企業(yè)都公布了2022年下滑的業(yè)績，其中Intel連續(xù)兩個(gè)季度虧損、美光也已開始出現(xiàn)虧損，印證了比爾蓋茨的預(yù)測(cè)。

中國芯片則在大踏步前進(jìn)，不斷以國產(chǎn)芯片替代美國芯片，由此中國芯片的自給率迅速提升到三成以上，而芯片進(jìn)口減少了970億顆，相信光刻機(jī)這個(gè)最后環(huán)節(jié)也必將被打破，美國的限制最終吃虧的將是美國芯片。