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別神化ASML的EUV光刻機,沒它,一樣量產7nm芯片

2022-07-27 來源:互聯網亂侃秀
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關鍵詞: ASML 光刻機 芯片

EUV光刻機是當下最先進的芯片生產制造設備,主要用于生產制造7nm及以下制程的芯片,可以說,EUV光刻機出現后,其就供不應求。


據悉,ASML將大量的EUV光刻機出貨給了臺積電,剩下的則出貨給了三星和英特爾,由于三星的數量少于臺積電,所以在產能和良品率方面相對落后。


在這樣的情況下,三星李在镕親自前往荷蘭總部,目的是想獲得更多EUV光刻機,并想優先獲得下一代EUV光刻機等更先進的設備。



而國內廠商早就全款訂購了一臺EUV光刻機,但由于各種原因,至今都沒有到貨,ASML也明確表示在沒有許可的情況下,EUV光刻機是無法自由出貨。


沒有EUV光刻機,就無法量產7nm等制程的芯片,這實際上是一個錯誤的觀點,而且,還把EUV光刻機給神化了,實際上,沒它一樣量產7nm芯片。


首先,第一代7nm芯片就是用DUV光刻機量產的,臺積電就是這么干的,采用的是多層曝光工藝,只不過,相比EUV光刻機有點費事。



目前,廠商已經用多層曝光工藝量產了14nm芯片,良品率等敢于同國際大廠相比較,這說明國內廠商掌握的多層曝光工藝已經十分純熟了。


在這樣的情況下,用DUV光刻機量產7nm芯片有戲,畢竟,都是采用多層曝光工藝。


更何況,廠商都已經小范圍內試產了N+1工藝的芯片,這種芯片在邏輯面積上與臺積電的7nm芯片十分相似,只不過主打低功耗。


臺積電還明確表示用DUV光刻機也能夠量產5nm芯片,只不過工藝更復雜一些,成本更高一些。



要知道,越是先進制程的芯片,其就是邏輯面積變小,更小的面積中內置更多晶體管,使用DUV光刻機雖然有難度,只不過是工藝復雜、良品率會一些。


否則,廠商也不會在僅有DUV光刻機的情況下,就完成了7nm芯片的研發任務,還小范圍內試產了N+1工藝的芯片。


其次,NIL工藝出現了。


NIL工藝的出現,讓EUV光刻機可以說徹底掉下神壇,因為在NIL工藝之下,根本就不用使用EUV光刻機,依舊可以將芯片制程縮小至5nm。



據了解,NIL工藝是一種壓印工藝,先刻上納米電路圖案,然后再將電路圖案“壓印”在晶圓上,就像蓋章一樣。

因為不需要使用類似EUV光刻機那樣先進的鏡頭,所以成本低了很多。


根據佳能等發布的消息可知,使用NIL工藝量產的5nm芯片預計在2025年實現,相比EUV工藝而言,其成本降低90%,還能夠節約大量的能源費用。


關鍵是,佳能等廠商有意在全球范圍內推廣NIL工藝,讓這種工藝用于生產先進的儲存芯片和非儲存芯片。




最后,光電芯片也是好的解決方案


光電芯片完全不同于硅芯片,任正非都明確表示光電芯片技術可以完全繞開美芯技術,而華為在光電芯片領域內,已經布局十余年時間。


為了更好發展光電芯片技術,華為不僅計劃在劍橋附近建設華為全球研發中心,主要研發光電芯片,還在博士招聘中,多次公開招聘相關技術人才。



另外,荷蘭也宣布投資11億歐元到光電芯片領域內,目的是想在下一代芯片技術方面保持領先,畢竟,其也想完全實現自由出貨。


更何況,光電芯片的制造工藝不同于硅芯片,自然也就談不上EUV光刻機了。所以才說別神化EUV光刻機,沒它一樣量產7nm芯片。對此,你們怎么看。



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