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臺積電啟動2nm晶圓廠建設(shè),預(yù)計2025年量產(chǎn)

2022-04-21 來源:網(wǎng)絡(luò)整理
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關(guān)鍵詞: 臺積電


4月21日消息,據(jù)臺灣媒體報道,晶圓代工龍頭臺積電位于臺灣竹科寶山二期的2nm晶圓廠Fab 20建廠計劃已正式啟動。


竹科管理局局長王永壯20日表示,竹科管理局已將部分用地租予臺積電,臺積電將可展開整地作業(yè),估計最晚將于6月取得所有用地。另外,世界先進(jìn)評估興建12吋廠且有意進(jìn)駐銅鑼園區(qū)設(shè)廠,王永壯表示待環(huán)差案通過將進(jìn)行用地分配。


王永壯表示,竹科寶山二期擴(kuò)建計劃進(jìn)展順利,經(jīng)過幾十次溝通,已有超過九成的地主同意價購征收,新竹縣政府將于4月底公告征收,估計最晚將于6月取得所有用地。同時,管理局3月已將部分用地租予臺積電,臺積電可以展開整地作業(yè)。


臺積電此前已確定將在竹科寶山二期興建Fab 20超大型晶圓廠,未來在此生產(chǎn)2nm。


設(shè)備業(yè)者指出,臺積電Fab 20廠區(qū)將分為第一期到第四期、共興建4座12吋晶圓廠,預(yù)計2024年下半年進(jìn)入風(fēng)險性試產(chǎn),2025年進(jìn)入量產(chǎn)。臺積電2nm制程將采用納米層片(Nanosheet)的環(huán)繞閘極(GAA)晶體管架構(gòu),技術(shù)開發(fā)進(jìn)度符合預(yù)期。


臺積電2nm之后的更先進(jìn)制程將進(jìn)入埃米(angstorm)時代,業(yè)界預(yù)期,臺積電后續(xù)將推進(jìn)到18埃米(1.8nm),但尚未決定設(shè)廠地點。設(shè)備業(yè)者評估,臺積電2nm需求強(qiáng)度若優(yōu)于預(yù)期,竹科用地不足,將可能轉(zhuǎn)赴臺中建立2nm及18埃米等先進(jìn)制程晶圓廠,中科二期用地已納入考慮。


臺積電去年進(jìn)入2nm N2制程技術(shù)的開發(fā)階段,著重于測試載具設(shè)計與實作、光罩制作及硅試產(chǎn)等,主要進(jìn)展在于提升基礎(chǔ)制程設(shè)定、晶體管與導(dǎo)線性能。在光刻技術(shù)部份,臺積電研發(fā)組織藉由提升晶圓良率達(dá)到可靠影像以支持3nm試產(chǎn),并提升極紫外光(EUV)的應(yīng)用、降低材料缺陷與增進(jìn)平坦化的能力,以支持2nm技術(shù)的開發(fā)。



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