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國產(chǎn)光刻膠大進(jìn)步:90-28nm已支持存儲芯片、邏輯芯片

2022-04-18 來源:互聯(lián)網(wǎng)亂侃秀
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關(guān)鍵詞: 芯片 半導(dǎo)體

眾所周知,在芯片的制造過程中,需要的設(shè)備、材料非常多。其中像光刻機、光刻膠都是當(dāng)前嚴(yán)重卡脖子的產(chǎn)品。

拿光刻膠來說,分為5種,分別是g線、i線、KrF、ArF、EUV。其中g(shù)線、i線主要用于250nm以上工藝,國內(nèi)的自給率約為20%。

KrF一般用于250nm-130nm工藝,國內(nèi)的自給率約為5%,ArF一般用于130nm-14nm,2021年之前國內(nèi)就無法生產(chǎn),主要靠進(jìn)口,至于EUV光刻膠主要用于7nm及以下工藝,就更加不用說了,完全靠進(jìn)口。

不過從去年開始,國內(nèi)幾大光刻膠廠商在光刻膠上面有了較大的進(jìn)步,已經(jīng)研發(fā)出了ArF光刻膠,比如南大光電等,去年下半年時表示已經(jīng)用于50nm制程的存儲芯片上,通過了客戶驗證。

而近日,南大光電表示,旗下用于90nm-28nm制程的ArF光刻膠已分別通過存儲芯片制造和邏輯芯片制造企業(yè)驗證。

意思是其研發(fā)的ArF光刻膠,已經(jīng)可以用于最高工藝為28nm的存儲芯片和邏輯芯片了,畢竟驗證通過后,就可以出貨給客戶了。

南大光電甚至表示,其中一家客戶從去年8月份起,就一直正常購買公司的光刻膠產(chǎn)品,只是因為是客制化產(chǎn)品,暫未形成規(guī)模銷售。

對此,不知道大家怎么看?光刻膠作為芯片制造中必不可少的材料,用量雖然少,但非常重要,沒有其它替代品,之前一直被日本廠商壟斷著,韓國都曾被卡住了脖子。

如今中國廠商能夠推出用于28nm的ArF光刻膠,真的是一個重大進(jìn)步,相信接下來繼續(xù)推進(jìn),達(dá)到14nm也不會太難了。

也希望整個國產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈,也能夠像光刻膠一樣,先進(jìn)推進(jìn)到28nm,再推進(jìn)到14nm,那樣也就沒有太多擔(dān)心的了,畢竟搞定14nm,就能夠生產(chǎn)全球至少80%的芯片了。



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