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三星自研EUV光罩保護膜透光率已達90%
佳能納米壓印技術挑戰(zhàn)EUV,臺積電、聯(lián)電、光罩有機會受益
韓企研發(fā)出石墨烯EUV光罩保護膜,能大幅度提高5nm芯片良率
國內廠商奮起直追!EUV光罩市場將迎來新變局
光罩產業(yè)國產化趨勢勢不可擋,本土光罩廠正在興起
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